Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:536.42; 539.213.27; 681.7.02
Номер:2 (60)
Локальная модификация фазового состояния стеклокерамических материалов является перспективным методом формирования микроэлементов. Описаны принципы лазерно-индуцированной фазово-структурной модификации двух типов стеклокерамических материалов – фоточувствительных стекол и ситаллов. Описано применение в данной технологии лазерного излучения различных длин волн. Показа-на возможность изготовления различных типов микроэлементов с широким диапазоном параметров.