Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:6 (51)
Скачать PDF0 Кбайт
В работе проведены исследования нанокомпозитных пленок на основе кремния, диоксида кремния и фосфатного стекла. Разработана лабораторная технология получения нанокомпозитных пленок. Пленки изготавливались на термически окисленных монокристаллических кремниевых пластинах. Исследованы структурные, а также электрофизические особенности и характеристики, полученных нанокомпозитов.