Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:681.5
Номер:9 (59)
Скачать PDF460 Кбайт
Приводятся результаты математического моделирования процесса управления климатическими параметрами при производстве микроэлектроники в условиях нестационарных возмущений. Показано, что потеря эффективности ПИД-регулирования может быть компенсирована при комплексном использовании в системе управления климатом рекуррентного измерителя и нечеткого регулятора.