Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:666.225
Номер:3 (73)
Скачать PDF0 Кбайт
Впервые исследованы кинетики травления исходного фото-термо-рефрактивного стекла и наноструктурированной стеклокерамики на его основе в растворах HF при различных концентрациях и температурах. Показано, что скорость травления наностеклокерамики в 10 раз выше, чем скорость травления стекла. Показаны перспективы использования фото-термо-рефрактивного стекла и технологии химического травления для создания элементов фотоники и мехатроники.