Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:621.373.535
Номер:3 (121)
МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИ ОДНОКРАТНОМ ОБЛУЧЕНИИ СДВОЕННЫМ ФЕМТОСЕКУНДНЫМ ЛАЗЕРНЫМ ИМПУЛЬСОМ
Аннотация:
Предмет исследования. Оценка возможности формирования периодических микроструктур на поверхности кремния за один сдвоенный фемтосекундный лазерный импульс. Метод. Использован экспериментальный метод сдвоенных фемтосекундных лазерных импульсов на основе интерферометра Майкельсона и теоретический метод численного моделирования процесса фотовозбуждения полупроводника в приближении диэлектрической проницаемости. Основные результаты. Представлены экспериментальные результаты по облучению поверхности монокристаллического кремния одним сдвоенным фемтосекундным лазерным импульсом вблизи порога абляции при различных временных задержках. Результаты анализа полученных оптических изображений поверхности лазерооблученного кремния сопоставлены с результатами теоретического моделирования процесса фотовозбуждения полупроводника на основе представлений теории поляритонов. Обоснована проблематичность формирования поверхностных периодических микроструктур на кремнии за один фемтосекундный лазерный импульс. Практическая значимость. Проведенное исследование полезно при выборе промышленно выгодных высокочастотных режимов фемтосекундного микроструктурирования поверхности полупроводников.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- НИЗКОКОГЕРЕНТНАЯ РЕФЛЕКТОМЕТРИЯ ФЛУОРЕСЦИРУЮЩИХ СЛУЧАЙНО-НЕОДНОРОДНЫХ СРЕД
- МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКОЙ РЕАЛИЗАЦИИ КВАНТОВОГО АЛГОРИТМА ПОИСКА
- ПРИМЕНЕНИЕ ИК СПЕКТРОСКОПИИ И МУЛЬТИВАРИАНТНОГО АНАЛИЗА К ИССЛЕДОВАНИЮ СЫВОРОТОК КРОВИ ПАЦИЕНТОВ, БОЛЬНЫХ ЭПИЛЕПСИЕЙ
- МЕТОД ПОИСКА ИЗМЕНЕНИЙ СОСТОЯНИЯ ЗЕМНОЙ ПОВЕРХНОСТИ ПО РАЗНОВРЕМЕННЫМ КОСМИЧЕСКИМ СНИМКАМ
- МОДИФИЦИРОВАННЫЙ АЛГОРИТМ БЭКСТЕППИНГА ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ НЕЛИНЕЙНЫМИ МНОГОКАНАЛЬНЫМИ ОБЪЕКТАМИ C ПЕРЕКРЕСТНЫМИ СВЯЗЯМИ
- СРАВНЕНИЕ ОЦЕНОК НЕИЗВЕСТНЫХ ПАРАМЕТРОВ МЕТОДОМ ДИНАМИЧЕСКОГО РАСШИРЕНИЯ РЕГРЕССОРА И МЕТОДОМ НАИМЕНЬШИХ КВАДРАТОВ ПРИ НАЛИЧИИ ПОМЕХ ИЗМЕРЕНИЯ
- ВЛИЯНИЕ СУЛЬФАТА АММОНИЯ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ НАНОПОРОШКОВ И ОПТИЧЕСКОЙ КЕРАМИКИ YAG:Yb
- УСИЛЕНИЕ ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ ИОНОВ Eu3+ В НАТРИЕВО-АЛЮМОСИЛИКАТНОМ СТЕКЛЕ МОЛЕКУЛЯРНЫМИ КЛАСТЕРАМИ СЕРЕБРА, СФОРМИРОВАННЫМИ МЕТОДОМ Na+-Ag+ ИОННОГО ОБМЕНА
- МОДЕЛИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОННОЙ СТРУКТУРЫ ZnO ИЗ ПЕРВЫХ ПРИНЦИПОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МОДИФИЦИРОВАННЫХ ФУНКЦИОНАЛОВ
- РАЗРАБОТКА АДАПТИВНОГО МОДУЛЯ СОЗДАНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЯ ВИРТУАЛЬНЫХ МОДЕЛЕЙ ОБЪЕКТОВ ОКРУЖАЮЩЕЙ СРЕДЫ
- ОЦЕНКА ДЛИНЫ ПЕРИОДА НЕСТАЦИОНАРНЫХ ПРОЦЕССОВ В ОБЛАЧНЫХ СИСТЕМАХ
- АДАПТИВНОЕ ТРЕХМЕРНОЕ КОСИНУСНОЕ ПРЕОБРАЗОВАНИЕ ТРАНСПОРТНЫХ СЮЖЕТОВ
- ОБРАБОТКА СИГНАЛЬНОЙ ИНФОРМАЦИИ В ЗАДАЧАХ МОНИТОРИНГА ИНФОРМАЦИОННОЙ БЕЗОПАСНОСТИ АВТОНОМНЫХ ОБЪЕКТОВ БЕСПИЛОТНЫХ СИСТЕМ
- ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНАЯ СИСТЕМА ПОМОЩИ ТУРИСТУ: СЕРВИС-ОРИЕНТИРОВАННАЯ АРХИТЕКТУРА И РЕАЛИЗАЦИЯ
- АВТОМАТИЧЕСКАЯ НАСТРОЙКА ГИПЕРПАРАМЕТРОВ АЛГОРИТМОВ КЛАСТЕРИЗАЦИИ С ПОМОЩЬЮ ОБУЧЕНИЯ С ПОДКРЕПЛЕНИЕМ
- ПАРАМЕТРИЧЕСКАЯ ОПТИМИЗАЦИЯ ЦИФРОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ ДЛЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ
- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИ ОРИЕНТИРОВАННЫЙ СИНТЕЗ АНАЛОГО-ЦИФРОВЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОГО ПРИБЛИЖЕНИЯ ДЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
- 3D-МОДЕЛИРОВАНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ВОЛНОВОГО ТВЕРДОТЕЛЬНОГО ГИРОСКОПА И МАЯТНИКОВОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА ИЗ КВАРЦЕВОГО СТЕКЛА
- ТЕПЛОВОЙ РЕЖИМ ИСТОЧНИКА УЛЬТРАХОЛОДНЫХ НЕЙТРОНОВ НА РЕАКТОРЕ ВВР-М
- АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ РАЗЛИЧНОЙ РАЗМЕРНОСТИ ФИЛЬТРОВ СВЕРТОЧНОГО СЛОЯ НА ТОЧНОСТЬ КЛАССИФИКАЦИИ ДОРОЖНЫХ ЗНАКОВ
- ИНФОРМАЦИОННАЯ ПОДДЕРЖКА ПРИНЯТИЯ РЕШЕНИЯ В СИСТЕМАХ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО НАДЕЖНОСТНО-ОРИЕНТИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ
- АВТОМАТИЧЕСКОЕ РАСПОЗНАВАНИЕ РЕЧИ В УСЛОВИЯХ ШУМА МУЗЫКИ НА МНОГОКАНАЛЬНЫХ ЗАПИСЯХ С УДАЛЕННОГО МИКРОФОНА
- АДДИТИВНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ПРИ СОЗДАНИИ АППАРАТУРЫ ВНУТРИКОРАБЕЛЬНОЙ СВЯЗИ
- РЕЦЕНЗИЯ НА СОБРАНИЕ НАУЧНЫХ ТРУДОВ ТЕРТЫЧНОГО-ДАУРИ В.Ю. ГАЛАМЕХ В ШЕСТИ ТОМАХ. ИЗД. ВТОРОЕ, ПЕРЕРАБОТАННОЕ И ДОПОЛНЕННОЕ