Например, Бобцов

ВЫБОР ИСХОДНОЙ ОПТИЧЕСКОЙ СХЕМЫ МЕТОДА ГРУППОВОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ЛИТОГРАФИЧЕСКИХ ОБЪЕКТИВОВ

Аннотация:

Целью настоящей работы является разработка метода получения исходных оптических схем для литографических объективов ультрафиолетового (UV) и глубокого ультрафиолетового диапазонов (DUV) на основе алгоритма глобального поиска. Исследованы возможности алгоритма глобального поиска для получения локальных минимумов в пространстве оценочной функции проектирования литографических объективов. Среди основных задач представленной работы — определение закономерностей для параметрических и входных данных макроса, связанных с количеством линз, длиной объектива и материалом оптических стекол. Полученные результаты демонстрируют эффективность и основные достоинства метода, основанного на алгоритме глобального поиска. Результатом работы является разработанный метод и критерии успешного выбора исходных оптических схем для микролитографических объективов.

Ключевые слова:

Статьи в номере