Например, Бобцов

Способ оперативного контроля структуры тонких диэлектрических слоев

Аннотация:

В связи с бурным развитием лазерной техники для увеличения срока службы зеркал резонаторов с высоким коэффициентом отражения, изготовленных методами тонкопленочной технологии, возникла необходимость в способе, позволяющем оперативно контролировать структуру созданного покрытия. Знание структуры тонких пленок, полученных из различных материалов и при разных технологических параметрах (скорость осаждения, температура и качество очистки поверхности подложки) и методах осаждения, важно при расчете и математическом моделировании оптических и физико-механических характеристик покрытий. Кроме этого, важно знать, как связаны изменения показателя преломления и главного показателя поглощения, а также вариации толщины слоя по поверхности элемента с изменением структуры.

Ключевые слова:

Постоянный URL

Статьи в номере

Содержание © 1993–2024 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Университет ИТМО