Способ оперативного контроля структуры тонких диэлектрических слоев
Аннотация:
В связи с бурным развитием лазерной техники для увеличения срока службы зеркал резонаторов с высоким коэффициентом отражения, изготовленных методами тонкопленочной технологии, возникла необходимость в способе, позволяющем оперативно контролировать структуру созданного покрытия. Знание структуры тонких пленок, полученных из различных материалов и при разных технологических параметрах (скорость осаждения, температура и качество очистки поверхности подложки) и методах осаждения, важно при расчете и математическом моделировании оптических и физико-механических характеристик покрытий. Кроме этого, важно знать, как связаны изменения показателя преломления и главного показателя поглощения, а также вариации толщины слоя по поверхности элемента с изменением структуры.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Информация и оптические приборы
- Инвариантные преобразования в оптике
- Оценка погрешности цифрового кинематометра при помощи метода статистических испытаний
- Выбор параметров лазерных дальномеров с учетом погрешности наведения на цель
- Высокочувствительные способы коллимирования пучков лучей
- Разработка и исследование математической модели развертывающего устройства плоскомера
- Влияние аберраций на качество изображения тонкой периодической структуры в оптических системах с высокими числовыми апертурами
- Определение аппаратной функции оптоволоконных БРОМ-зондов по измеренным угловым распределениям интенсивности света в дальней зоне
- Принципы контроля образцовых элементов наивысшей точности для универсальных интерферометров
- Идеи композиции как принцип построения рациональной конструкции оптической системы
- Использование программы MathCAD для типовых оптических расчетов
- Исследование слабых анизотропных неоднородностей в кварцевых элементах оптической системы атомно-абсорбционного спектрометра МГА-915 для увеличения его селективности
- Универсальная математическая модель бесконечно тонкого компонента
- Программа автоматического оформления чертежей оптических деталей
- Автоколлимационные системы с оптической равносигнальной зоной для контроля поперечных смещений объекта
- Оптико-электронная система контроля линейных деформаций крупногабаритных объектов на основе авторефлексионного метода измерения
- О построении оптико-электронных систем контроля прогиба
- Многоспектральный тепловизор "Терма-2" и его метрологические возможности
- Установка для экспериментальных наблюдений измерения спектров хемилюминесценции при озонолизе органических веществ
- Разработка эталонного спектрофотометрического измерительного комплекса
- Методы создания источников излучения с заданным спектральным составом (ИЗСС)
- Анализ энергетических и точностных характеристик лидаров для контроля параметров атмосферы
- Особенности построения автоколлимационной оптико-электронной системы контроля положения элементов трубоагрегатов
- Перспективы развития оптики тонких пленок
- Бесклеевые соединения оптических деталей. Современное состояние. Перспективы развития
- Особенности применения метода фурье-спектроэллипсометрии в технологическом контроле клеевых соединений оптических элементов автоклавируемых трубок
- Исследование процессов глубокой шлифовки и полировки стеклообразных и кристаллических материалов
- Просветляющие покрытия для ИК-области спектра
- Исследование влияния режимов формирования тонких металлических пленок на их оптические постоянные
- Определение распределения толщины слоев, формирующих зеркала с заданным градиентом коэффициента отражения
- Анализ технологических особенностей изготовления и контроля микроканальных пластин для электронно-оптических преобразователей излучения
- Применение тонкопленочной технологии для изготовления образцовых средств аттестации спектроэллипсометрических характеристик элементов градиентной оптики
- Влияние прогрева и фиксирования объемных пропускающих голограмм, зарегистрированных на ДИФФЕНе, на величину анизотропии фазовой модуляции
- Влияние температуры и влажности окружающей среды на параметры объемных пропускающих голограмм, зарегистрированных на полимерной среде ДИФФЕН
- Влияние постэкспозиционного прогрева на параметры объемных пропускающих голограмм, зарегистрированных на ДИФФЕНе
- Фиксирование объемных пропускающих голограмм, записанных на регистрирующей среде с диффузным усилением – ДИФФЕНе
- Атомно-флуоресцентный анализатор кадмия, цинка и свинца