Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:6 (40)
Скачать PDF0 Кбайт
ИССЛЕДОВАНИЕ КАЧЕСТВА ФОТОЛИТОГРАФИИ В СЛОЯХ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ ЗАТВОРОВ КМОП ИС
Аннотация:
В работе приведено исследование распределения длины поликремниевого затвора МОП транзисторов по площади пластин с готовыми КМОП ИС. Рассмотрено влияние различных методов травления, а также степени лигирования пленки поликремния на изменение геометрии затвора.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- АВТОМАТИЗАЦИЯ ТЕПЛОВЫХ РАСЧЕТОВ ЭЛЕКТРОННЫХ БЛОКОВ С ПОМОЩЬЮ САПР SOLIDWORKS/COSMOSWORKS НА ЭТАПЕ КОНСТРУКТОРСКОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ
- МЕТОДЫ И АЛГОРИТМЫ РАЗРАБОТКИ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО РАБОЧЕГО МЕСТА ПРОЕКТИРОВЩИКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ СИСТЕМ КОМПАНИИ DIGART
- ОСОБЕННОСТИ ПРОЕКТИРОВАНИЯ СОВРЕМЕННЫХ ВСТРАИВАЕМЫХ ЭЛЕКТРОННО-ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ И РАЗРАБОТКА ПЛАТ ДЛЯ ПРОТОТИПИРОВАНИЯ
- ПРИМЕНЕНИЕ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ПРИ ОПТИМИЗАЦИИ ТЕХНИЧЕСКИХ И СХЕМНЫХ РЕШЕНИЙ ХОЛОДИЛЬНЫХ СИСТЕМ
- АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ СИСТЕМА ВЫЯВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ КРАТКОСРОЧНЫХ ПРЕДВЕСТНИКОВ СИЛЬНЫХ ЗЕМЛЕТРЯСЕНИЙ НА ОСНОВЕ ГЕОФИЗИЧЕСКОЙ ИНФОРМАЦИИ
- ПРОЕКТИРОВАНИЕ КОРПОРАТИВНОЙ АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ ИНФОРМАЦИОННОЙ СИСТЕМЫ «БАНКОМАТ +»
- ПРОБЛЕМА АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПЛАНИРОВАНИЯ МАРШРУТА ПРОЕЗДА ПО ГОРОДУ ДЛЯ ОПТИМИЗАЦИИ РЕСУРСОЗАТРАТ
- РАЗРАБОТКА КОМПЛЕКСА ПРОГРАММ ДЛЯ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ТЕСТИРОВАНИЯ, АНАЛИЗА АРМ ДИЛЕРА МЕЖДУНАРОДНОГО ВАЛЮТНОГО РЫНКА FOREX
- АВТОМАТИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА ПРОГРАММИРОВАНИЯ
- АВТОМАТИЗАЦИЯ ПРОЦЕССА РАЗРАБОТКИ WEB-ПРИЛОЖЕНИЙ НА ПРИМЕРЕ FRAMEWORK-СИСТЕМЫ КОМПАНИИ DIGART
- ИСПОЛЬЗОВАНИЕ WEB-СРЕДСТВ ДЛЯ КОММУНИКАТИВНОЙ ПОДДЕРЖКИ ПРОЦЕССА ПРОЕКТИРОВАНИЯ В РАСПРЕДЕЛЕННОЙ ГРУППЕ
- ЩЕЛОЧНОЕ ВСКРЫТИЕ МАКРОПОР ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР СО СКВОЗНЫМИ КАНАЛАМИ
- АНАЛИЗ СОВРЕМЕННОЙ ПАТЕНТНОЙ ЛИТЕРАТУРЫ ПО СИЛЬФОННЫМ ЭЛЕМЕНТАМ ДАТЧИКОВ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ
- РАЗРАБОТА ЛАБОРАТОРНОЙ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПЛЕНОК НА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖКАХ
- ВЫЯВЛЕНИE РЕАКЦИЙ ЛЮДЕЙ ПРИ ВОСПРИЯТИИ МУЗЫКИ МЕТОДОМ ГРВ
- ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ НА ОСНОВЕ ТОКОПРОВОДЯЩИХ ПОЛИМЕРОВ ДЛЯ БЛОКА УПРАВЛЕНИЯ МАНИПУЛЯТОРАМИ МЕТОДОМ ГРВ
- ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ НА ОСНОВЕ ТОКОПРОВОДЯЩИХ ПОЛИМЕРОВ ДЛЯ БЛОКА УПРАВЛЕНИЯ МАНИПУЛЯТОРАМИ
- ОРГАНИЗАЦИЯ ОБМЕНА ДАННЫМИ ПО ШИНЕ USB В ОПЕРАЦИОННОЙ СИСТЕМЕ WINDOWS XP С ПРИМЕНЕНИЕМ ЭЛЕКТРОННЫХ КОМПОНЕНТОВ ФИРМЫ FTDI
- ТЕЛЕКОММУНИКАЦИОННАЯ СИСТЕМА ОБРАБОТКИ ПОТОКОВ ДАННЫХ ДЛЯ ТОРГОВО-ПОСРЕДНИЧЕСКИХ ПРЕДПРИЯТИЙ, ЗАНИМАЮЩИХСЯ ВНЕШНЕЭКОНОМИЧЕСКОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТЬЮ
- РАСПОЗНАВАНИЕ ОБРАЗОВ В ИЗОБРАЖЕНИЯХ
- ОПРЕДЕЛЕНИЕ СТАБИЛЬНОСТИ ТРАЕКТОРИИ ПРОЦЕССА В ФАЗОВОМ ПРОСТРАНСТВЕ ПРИ ПОМОЩИ РЕКУРРЕНТНОГО АНАЛИЗА
- ОБЗОР ТЕХНОЛОГИЙ ДОСТУПА К ДАННЫМ ДЛЯ ОПЕРАЦИОННОЙ СИСТЕМЫ WINDOWS
- ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЙ ДОСТУПА К ДАННЫМ ДЛЯ ОПЕРАЦИОННОЙ СИСТЕМЫ WINDOWS
- РАЗРАБОТКА СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ОБЩИМ ДОСТУПОМ В ИНТЕРНЕТ
- ТЕСТИРОВАНИЕ ТРАСС СТРУКТУРИРОВАННЫХ КАБЕЛЬНЫХ СИСТЕМ
- ПЕРСПЕКТИВЫ ПРИМЕНЕНИЯ ОПТИЧЕСКОГО ВОЛОКНА В СИСТЕМАХ УПРАВЛЕНИЯ
- РАСШИРЕНИЕ ВОЗМОЖНОСТЕЙ ИНТЕРАКТИВНЫХ ПОЛЬЗОВАТЕЛЬСКИХ ИНТЕРФЕЙСОВ WEB-ПРИЛОЖЕНИЙ С ПОМОЩЬЮ ТЕХНОЛОГИИ AJAX
- РАЗРАБОТКА ТРЕХУРОВНЕВОЙ АРХИТЕКТУРЫ CMS
- СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ МОДЕЛЕЙ УЧЕТА ПОПРАВОК НА РАСПРОСТРАНЕНИЕ СИГНАЛОВ КОСМИЧЕСКИХ АППАРАТОВ В ТРОПОСФЕРЕ
- МЕТОДЫ ИНТЕГРАЦИИ ПРИЛОЖЕНИЙ
- АЛГОРИТМ УПРАВЛЕНИЯ ЧАСТОТОЙ ОПОРНОГО ГЕНЕРАТОРА ДЛЯ СИСТЕМЫ МОНИТОРИНГА СРЕДСТВ СИНХРОНИЗАЦИИ
- СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ СИГНАЛОВ СПУТНИКОВОЙ РАДИОНАВИГАЦИОННОЙ СИСТЕМЫ ГЛОНАСС
- СИСТЕМА АВТОМАТИЗАЦИИ И ОПТИМИЗАЦИИ ПРОПУСКНОЙ СПОСОБНОСТИ ОФОРМЛЕНИЯ ДОКУМЕНТОВ
- ПРИМЕНЕНИЕ НЕЙРОННОЙ СЕТИ ДЛЯ ОБНАРУЖЕНИЯ СЕТЕВЫХ АТАК
- МЕТОДИКИ РАЗРАБОТКИ ЗАЩИЩЕННОЙ СИСТЕМЫ АВТОМАТИЗАЦИИ УПРАВЛЕНИЯ ПРОМЫШЛЕННЫМ ПРЕДПРИЯТИЕМ
- МЕТОДЫ ФОРМИРОВАНИЯ ИНФОРМАЦИОННОГО ПОЛЯ В ИНФОРМАЦИОННОЙ СИСТЕМЕ
- ОСНОВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ ОБЕСПЕЧЕНИЯ КОМПЛЕКСНОЙ ЗАЩИТЫ ИНФОРМАЦИИ КРУПНЫХ ПРЕДПРИЯТИЙ
- ГРАФИЧЕСКИЕ СТЕГОКОНТЕЙНЕРЫ
- ОСОБЕННОСТИ ОБЕСПЕЧЕНИЯ ИНФОРМАЦИОННОЙ БЕЗОПАСНОСТИ ПРОМЫШЛЕННЫХ СИСТЕМ
- МЕТОД ОЦЕНКИ ДОСТУПНОСТИ ПРОГРАММНО-АППАРАТНЫХ КОМПЛЕКСОВ, ПОСТРОЕННЫХ С ПРИМЕНЕНИЕМ ТЕХНОЛОГИЙ ГОРЯЧЕГО РЕЗЕРВИРОВАНИЯ КОМПОНЕНТОВ
- РЕЗИСТИВНОСТЬ ВОДЯНЫХ ЗНАКОВ К JPEG ПРЕОБРАЗОВАНИЮ
- ОРГАНИЗАЦИЯ БОРЬБЫ С ПРЕСТУПЛЕНИЯМИ В СФЕРЕ БАНКОВСКОГО КРЕДИТОВАНИЯ
- МОДЕЛИРОВАНИЕ СИСТЕМЫ БЕЗОПАСНОСТИ CMS В УСЛОВИЯХ ОГРАНИЧЕННОГО БЮДЖЕТА
- АНАЛИЗ И БЕЗОПАСНОСТЬ СЕТЕВОГО СТЕКА ОС WINDOWS VISTA
- ЗАКОНОДАТЕЛЬНЫЕ ТРЕБОВАНИЯ В ОБЛАСТИ ОБЕСПЕЧЕНИЯ ИНФОРМАЦИОННОЙ БЕЗОПАСНОСТИ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ СИСТЕМ
- ОСНОВНЫЕ АСПЕКТЫ СОЗДАНИЯ СИСТЕМЫ ЗАЩИТЫ ПЕРИМЕТРА КОРПОРАТИВНОЙ ИНФОРМАЦИОННОЙ СИСТЕМЫ