Например, Бобцов

ФОРМИРОВАНИЕ НАНО-МИКРОСТРУКТУР И ПЛАНАРНЫХ ВОЛНОВОДОВ МЕТОДОМ КОПИРОВАНИЯ РЕЛЬЕФА МАТРИЦЫ УФ-ОТВЕРЖДАЕМОЙ ПОЛИМЕРНОЙ КОМПОЗИЦИЕЙ

Аннотация:

  В работе рассмотрено применение метода наноимпринтинга для изготовления микрооптики, а конкретно оптического волновода, с задаваемыми параметрами. Отражены условия подготовки и протекания про- цесса вакуумирования и УФ-отверждения для более точной передачи формы оптической поверхности. Приведены возможности варьирования параметрами с целью улучшения эксплуатационных показателей.

Ключевые слова:

Статьи в номере