Например, Бобцов

Программно- аппаратный комплекс производственно-технологического контроля качества микро- и наноэлементной базы электроники

Аннотация:

  В работе рассмотрены вопросы, возникающие в ходе технологического контроля при производстве микро- и наноструктур элементной базы электроники. Проведен анализ серийного образца МИИ-4. Разработаны принципы, на основе которых можно улучшить технические характеристики МИИ-4. Рассмотрен разработанный на базе этих принципов измерительно-вычислительный комплекс. Приведены примеры его исполь- зования.

Ключевые слова:

Статьи в номере