Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:9 (32)
Скачать PDF0 Кбайт
В работе рассмотрены вопросы, возникающие в ходе технологического контроля при производстве микро- и наноструктур элементной базы электроники. Проведен анализ серийного образца МИИ-4. Разработаны принципы, на основе которых можно улучшить технические характеристики МИИ-4. Рассмотрен разработанный на базе этих принципов измерительно-вычислительный комплекс. Приведены примеры его исполь- зования.