Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:621.315.592; 621.315.51.6; 621.3.049.77.14
Номер:3 (52)
Скачать PDF404 Кбайт
СТРУКТУРА НАНОКЛАСТЕРОВ КРЕМНИЯ В СИСТЕМЕ КРЕМНИЙ — ДИОКСИД КРЕМНИЯ
Аннотация:
Представлен обзор публикаций, посвященных исследованию различных структур нанокластеров кремния в слоях диоксида кремния. Показано, что при фор- мировании нанокластеров кремния на монокристаллических кремниевых под- ложках методом нанолитографии поверхности с последующим термическим окислением или методом лазерного облучения окисленного кремния нанокластеры чаще всего имеют кристаллическую структуру; при использовании других методов требуется дополнительная обработка, в частности высокотемпературный отжиг. Указывается на возможность использования массива нанокри- сталлов кремния для создания цифровых устройств наноэлектроники.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- РЕШЕНИЕ ЗАДАЧИ НЕЛИНЕЙНОЙ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ ИДЕНТИФИКАЦИИ СТОХАСТИЧЕСКИХ ОБЪЕКТОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ КРИТЕРИЯ МИНИМУМА ВЕРОЯТНОСТИ ОШИБКИ ОЦЕНИВАНИЯ
- МЕТОД АДАПТИВНОГО СКАЛЯРНОГО КВАНТОВАНИЯ В СХЕМАХ НЕОБРАТИМОГО СЖАТИЯ ИЗОБРАЖЕНИЙ
- СИСТЕМА АВТОМАТИЧЕСКОГО РАСПОЗНАВАНИЯ РЕЧЕВЫХ КОМАНД
- ПРЕОБРАЗОВАНИЕ АЦИКЛИЧЕСКИХ БАЙЕСОВСКИХ СЕТЕЙ ДОВЕРИЯ В АЛГЕБРАИЧЕСКИЕ БАЙЕСОВСКИЕ СЕТИ
- ДИНАМИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ С ПЕРЕМЕННОЙ СТРУКТУРОЙ И РАЗМЕРНОСТЬЮ
- ИМИТАЦИОННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРИ ИССЛЕДОВАНИИ ВРЕМЕННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ДИСКРЕТНЫХ СИСТЕМ
- ОПТИМАЛЬНОЕ УПРАВЛЕНИЕ ВЕТРОЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ УСТАНОВКОЙ КОЛЕБАТЕЛЬНОГО ТИПА
- ТЕХНОЛОГИЯ ПОСТРОЕНИЯ ОБУЧАЮЩИХ ДИАЛОГОВ В КОМПЬЮТЕРНЫХ СИСТЕМАХ РЕПЕТИТОРСКОГО ТИПА
- ИНТЕГРАЦИЯ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ ДАННЫМИ ОБ ИЗДЕЛИИ И СИСТЕМ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ: ОТ ЧАСТНЫХ РЕШЕНИЙ К ГЛОБАЛЬНОЙ СТРАТЕГИИ
- СПЕКТРОАНАЛИЗАТОР ДОПЛЕРОВСКИХ СИГНАЛОВ
- ВЛИЯНИЕ ПРОЗРАЧНОГО ПОКРЫТИЯ НА ОПТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ СИГНАЛ В НАНОГРАФИТНЫХ ПЛЕНКАХ
- ФОТОРЕГИСТРИРУЮЩИЕ УСТРОЙСТВА ДЛЯ ВОСПРОИЗВЕДЕНИЯ ИНФОРМАЦИИ КОСМИЧЕСКОЙ МЕТЕОРОЛОГИЧЕСКОЙ АППАРАТУРЫ ТРЕТЬЕГО ПОКОЛЕНИЯ
- РАСЧЕТ И ИССЛЕДОВАНИЕ ДВУХЗЕРКАЛЬНЫХ КОМПОЗИЦИЙ ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ
- АБЕРРАЦИОННЫЕ СВОЙСТВА ОТРАЖАЮЩИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ВТОРОГО ПОРЯДКА
- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ВЫБОРА МАТЕРИАЛОВ И МЕТОДОВ НАПЫЛЕНИЯ УЗЛОВ ГИРОПРИБОРОВ