Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:621.315.592; 621.315.51.6; 621.3.049.77.14
Номер:5 (52)
Скачать PDF456 Кбайт
ФОРМИРОВАНИЕ РЕГУЛЯРНОГО МАССИВА НАНОКЛАСТЕРОВ КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ПРОЕКЦИОННОГО ЛАЗЕРНОГО ОБЛУЧЕНИЯ
Аннотация:
Представлена лазерно-дифракционная методика формирования регулярного массива (решетки) кластеров кремния в системе кремний — диоксид кремния, основанная на процессе локального лазерного испарения вещества. Показано, что плотность кластеров кремния в массиве зависит от шага ячеек в металличе- ской микросетке, которая использовалась для деления лазерного пучка. Определена пороговая мощность лазера, превышение которой сопровождается воз- никновением на окисленной поверхности кремния нанокластеров кремния в виде регулярной решетки. Показано, что при увеличении мощности лазера размер кластеров увеличивается, а вокруг кластеров появляются деформированные области; дальнейшее увеличение мощности приводит к увеличению размеров кла- стеров и площадей деформированных областей вплоть до их смыкания.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- К ВОПРОСУ ОБ ЭФФЕКТИВНОСТИ ПРИБОРОВ ПОИСКА ОБЪЕКТОВ
- ПАРАМЕТРЫ ДЕЙСТВИЯ ЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО СПЕКТРА ВЕЙВЛЕТ-ПРЕОБРАЗОВАНИЙ
- ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ И СТРУКТУРА АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОГРАММНО-АППАРАТНОГО КОМПЛЕКСА ОЦЕНКИ СОСТОЯНИЯ ЗДОРОВЬЯ
- АДАПТИВНОЕ УПРАВЛЕНИЕ ОБЪЕКТАМИ С НЕОПРЕДЕЛЕННОСТЬЮ ЗНАКА КОЭФФИЦИЕНТА
- ОПТИМАЛЬНОЕ УПРАВЛЕНИЕ ЯДЕРНЫМ РЕАКТОРОМ С УЧЕТОМ СЛУЧАЙНЫХ ВОЗМУЩЕНИЙ
- ПОВЫШЕНИЕ БЕЗОПАСНОСТИ РАБОТЫ КОМПЬЮТЕРНЫХ СЕТЕЙ НА ОСНОВЕ АНАЛИЗА ПОТОКОВ ДАННЫХ
- ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДОВ МНОГОКРИТЕРИАЛЬНОГО ПРОГНОЗИРОВАНИЯ В СЕТЕВЫХ СИСТЕМАХ ОБНАРУЖЕНИЯ ВТОРЖЕНИЙ
- ОЦЕНКА НЕЛИНЕЙНЫХ ИСКАЖЕНИЙ СИГНАЛА, ВНОСИМЫХ ЭЛЕКТРОННЫМ УСИЛИТЕЛЕМ
- АВТОМАТИЗАЦИЯ МЕДИЦИНСКИХ НАБЛЮДЕНИЙ В ПОЛЯРНЫХ ЗОНАХ
- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ ПРИ МАЛОМ КОНТРАСТЕ ОБЪЕКТА К ОКРУЖАЮЩЕМУ ФОНУ
- ПОГРЕШНОСТЬ ИЗМЕРЕНИЯ РАДИАЛЬНОЙ ПРОТЯЖЕННОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ЕЕ МОНОИМПУЛЬСНОМ ОБЛУЧЕНИИ
- ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ГРАФОВЫХ МОДЕЛЕЙ ПРОСТРАНСТВА ДОПУСТИМЫХ РЕШЕНИЙ В ЗАДАЧЕ РАЗМЕЩЕНИЯ ЭЛЕКТРОННЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
- МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ РАБОТЫ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНЫХ ОХЛАЖДАЮЩИХ ТЕРМОЭЛЕМЕНТОВ
- ТЕПЛОФИЗИЧЕСКАЯ ЛАБОРАТОРИЯ НИЗКИХ ТЕМПЕРАТУР
- АВТОМАТИЗАЦИЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА СВАРНЫХ ШВОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ УЛЬТРАЗВУКОВОЙ ТЕХНОЛОГИИ
- МЕТРОЛОГИЧЕСКАЯ ОСНОВА ПОСТРОЕНИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ ТЕСТИРОВАНИЯ