Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:621.9.048.7
Номер:9 (52)
Скачать PDF405 Кбайт
УМЕНЬШЕНИЕ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ СИТАЛЛОВОЙ ПОДЛОЖКИ ДО НАНОРАЗМЕРНЫХ ЗНАЧЕНИЙ
Аннотация:
Рассматривается возможность изменения шероховатости поверхности стандартной ситалловой подложки СТ-50-1 в результате воздействия на нее СО2- лазерного излучения. Приведены режимы обработки поверхности, при которых величина выступов не превышает 20 нм, и показано, что их величина может быть уменьшена до значений, позволяющих формировать на поверхности нано- структуры. Рассмотрен вопрос временной стабильности сформированной поверхности. Контроль топологии поверхности осуществлен на сканирующем зондовом микроскопе Solver P47 Pro.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- ОЦЕНКА ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ РЕЗУЛЬТАТА ЛОКАЛЬНОГО АПРИОРНОГО ЛОГИКО-ВЕРОЯТНОСТНОГО ВЫВОДА В ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫХ ИНФОРМАЦИОННЫХ СИСТЕМАХ
- ТЕХНОЛОГИЯ ЭРГОНОМИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ПРОЕКТИРОВАНИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННОГО РАБОЧЕГО МЕСТА ИНТЕГРИРОВАННОЙ АСУ
- ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ АППРОКСИМАЦИИ ПРИ ПЛАНИРОВАНИИ ТРАЕКТОРИЙ ДВИЖЕНИЯ АППАРАТОВ
- МЕТОД ОПТИМИЗАЦИИ ПРОГРАММЫ НАВИГАЦИОННЫХ ИЗМЕРЕНИЙ НА БОРТУ КОСМИЧЕСКОГО АППАРАТА
- АНАЛИЗ МОДЕЛИ КЛЕТОК ЗРИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЫ НА ОСНОВЕ ПРИНЦИПА МИНИМИЗАЦИИ РЕПРЕЗЕНТАЦИОННОЙ ДЛИНЫ ОПИСАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЙ
- МЕТОД АВТОМАТИЧЕСКОЙ ФИЛЬТРАЦИИ ПРИ БОРЬБЕ СО „СПАМОМ“
- АНАЛИЗ ИНТЕРВАЛЬНЫХ ПЕРЕКРЕСТНЫХ СВЯЗЕЙ В ДИНАМИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ КЛАССА „ДВУМЕРНЫЙ ВХОД — ВЫХОД“ С КВАЗИОДНОТИПНЫМИ КАНАЛАМИ
- ПРЕДЕЛЬНАЯ НЕПРЕРЫВНАЯ МОДЕЛЬ СИСТЕМЫ С ВЫСОКОЧАСТОТНЫМ ПЕРИОДИЧЕСКИМ ИЗМЕНЕНИЕМ СТРУКТУРЫ
- АЛГОРИТМ ДИСКРЕТНОЙ ФИЛЬТРАЦИИ С ПРОМЕЖУТОЧНЫМ СГЛАЖИВАНИЕМ ОТСЧЕТОВ ВХОДНОГО СИГНАЛА
- УСТРОЙСТВА СИНХРОНИЗАЦИИ С ЭЛЕМЕНТАМИ ФАЗОВОЙ ИНТЕРПОЛЯЦИИ
- ЗАЩИТА ПОЛОСОВЫХ УСИЛИТЕЛЕЙ МОЩНОСТИ ОТ ПЕРЕГРУЗОК И МОДУЛЯЦИЯ АМПЛИТУДЫ МОЩНЫХ СИГНАЛОВ
- ОЦЕНКА АДЕКВАТНОСТИ КОМПЬЮТЕРНОЙ МОДЕЛИ ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОЙ СИСТЕМЫ ЕЕ ЗАДАННЫМ СВОЙСТВАМ
- ПОВЫШЕНИЕ ТОЧНОСТИ РЕЦИРКУЛЯЦИОННОГО ДАЛЬНОМЕРА
- ОПРЕДЕЛЕНИЕ ОПТИМАЛЬНОГО ПЕРИОДА ДИАГНОСТИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРООБОРУДОВАНИЯ
- МЕТРОЛОГИЧЕСКИЙ ПОДХОД К ПОНЯТИЮ ПРОФЕССИОНАЛЬНОЙ КОМПЕТЕНТНОСТИ СПЕЦИАЛИСТА