Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:531.7.082.5:535.42/44
Номер:11 (54)
Скачать PDF454 Кбайт
КОНТРОЛЬ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ОБЪЕКТА ПО ПОЛОЖЕНИЮ ТОЧЕК ПЕРЕГИБА ДИФРАКЦИОННОЙ КАРТИНЫ ФРАУНГОФЕРА
Аннотация:
Предложен метод оценки размера контролируемого объекта по положению точек перегиба главного максимума дифракционной картины. Показано, что метод обладает высокой чувствительностью к изменению размера объекта и позволяет проводить измерения с погрешностью до 0,1 мкм.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- ПРОЕКТ ЛИНИИ АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СБОРКИ МИКРООБЪЕКТИВОВ
- УНИФИКАЦИЯ ОПТИЧЕСКИХ И МЕХАНИЧЕСКИХ КОНСТРУКЦИЙ ЛИНЗОВЫХ МИКРООБЪЕКТИВОВ
- МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СБОРКИ МИКРООБЪЕКТИВОВ
- АВТОМАТИЗИРОВАННЫЙ ПЕРЕСЧЕТ ОПТИЧЕСКИХ СХЕМ ПРИ КОНСТРУИРОВАНИИ
- АЛГОРИТМ ИЗМЕРЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ОБЪЕКТА ПО ЕГО МУАР-ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ КАРТИНЕ
- ПРИМЕНЕНИЕ ДИСПЕРСИОННОГО ЭЛЕМЕНТА ПРИ НАСТРОЙКЕ ИНТЕРФЕРОМЕТРОВ ТИПА ЦЕНДЕРА — МАХА
- ПИРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПЕРЕГРЕВА СКРУТОК ПРОВОДОВ ЛИНИЙ ЭЛЕКТРОПЕРЕДАЧ
- ДИФРАКЦИОННЫЙ МЕТОД КОНТРОЛЯ ПРОСТРАНСТВЕННОГО ПОЛОЖЕНИЯ ОБЪЕКТОВ С ИЗМЕНЯЮЩИМСЯ МАСШТАБОМ СПЕКТРА ФУРЬЕ
- ИСПОЛЬЗОВАНИЕ РЕЖИМА ТЕПЛОВОГО ХРАНЕНИЯ ТЕРМОУПРУГОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ДЛЯ ПОСТРОЕНИЯ МНОГОКАНАЛЬНЫХ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СИСТЕМ
- ГОНИОСПЕКТРОРАДИОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРОСТРАНСТВЕННЫХ СПЕКТРАЛЬНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ЛОКАЛЬНЫХ СВЕТОВЫХ ПОЛЕЙ
- МОДЕРНИЗАЦИЯ КОНСТРУКЦИЙ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ИНДИКАТОРОВ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ
- ФОРМИРОВАНИЕ МУАР-ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ КАРТИНЫ ПРИ ДИФРАКЦИИ НА ЩЕЛИ МЕЖДУ КРАЕМ С КОНЕЧНОЙ ТОЛЩИНОЙ И ЗЕРКАЛЬНОЙ ПОВЕРХНОСТЬЮ
- ПРИМЕНЕНИЕ ИНВАРИАНТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ В СХЕМАХ КОНТРОЛЯ И ЮСТИРОВКИ ОЭП
- ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ФРЕНЕЛЕВСКИХ ОТВЕТВИТЕЛЕЙ ПРИ ПОСТРОЕНИИ ПРОХОДНЫХ ИЗМЕРИТЕЛЕЙ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ