Например, Бобцов

Нитриды алюминия и галлия на кремниевой подложке с промежуточным нанослоем карбида кремния для приборов ультрафиолетового диапазона излучения

Аннотация:

Излагается идея нового технологического метода выращивания низкодефектных гетероструктур нитридов алюминия и галлия на кремниевой подложке для ультрафиолетового диапазона излучения. Впервые экспериментально доказано, что создание промежуточного нанослоя карбида кремния позволяет получить методом газофазной эпитаксии высокосовершенные слои нитридов алюминия и галлия на кремниевой подложке без трещин. При этом основные характеристики кристаллического совершенства этих слоев, а именно полуширина рентгеновских кривых качания и полуширина спектров фотолюминесценции, с учетом отсутствия трещин, значительно превышают подобные значения, полученные другими авторами. Показано, что в спектрах фотолюминесценции нитрида галлия при температуре 77 K проявляется экситонная полоса с энергией мак-K проявляется экситонная полоса с энергией максимума  излучения 3,45 эВ и полушириной 63 мэВ.

Ключевые слова:

Постоянный URL

Статьи в номере

Содержание © 1993–2024 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Университет ИТМО