Например, Бобцов

КАТАЛИТИЧЕСКОЕ ДЕЙСТВИЕ ВАНАДИЯ И ЕГО ОКСИДА (V ) В ПРОЦЕССАХ ОКСИДИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ AIIIBV

Аннотация:

Установлен каталитический синхронный механизм действия нанесённых на поверхность InP и GaAs на- норазмерных слоев хемостимуляторов V и V2O5 в процессах термооксидирования этих полупроводников. Доказательством этого механизма являются резкое снижение эффективной энергии активации процессов, значительное увеличение скорости роста плёнок по сравнению с собственным оксидированием, регенера- ция активных частиц, содержащих V +5 (данные РФА, ИКС, ОЭС), независимость кинетических параметров процессов оксидирования от количества нанесённого катализатора. Термооксидирование InP в присутствии наноостровков V2O5 на начальном этапе процесса преимущественно происходит на этих каталитически ак- тивных центрах (данные РЭМ, ОЭС). 

Ключевые слова:

Статьи в номере