Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:[535.621.375.8]:539
Номер:1 (57)
Скачать PDF909 Кбайт
Рассмотрен процесс формирования микро- и наномасштабных периодических структур на поверхности системы SiO2/Si под действием наносекундных лазерных импульсов. При облучении экспериментальных образцов получены волнообразные периодические структуры на поверхности. Исследована зависимость топологии поверхности системы SiO2/Si от плотности энергии лазерного импульса.