Применение цифровой голографической микроскопии для исследования тонких прозрачных пленок
Аннотация:
В данной работе впервые приведены экспериментальные результаты применения цифрового голографического интерференционного микроскопа (ЦГИМ) для исследования тонких (с толщинами меньше длины волны видимого света) прозрачных пленок на прозрачных подложках. ЦГИМ позволяет не только получать трехмерное изображение поверхности пленок, но и проводить количественные измерения. В качестве пленок использованы покрытия из нитрида алюминия (AlN) на акриловых подложках, которые могут быть применены для защиты изделий из акрила от воздействия окружающей среды. Исследованы поверхностные дефекты, имеющиеся на поверхности покрытий и возникшие в результате воздействия ультрафиолетового излучения на покрытие и подложку. Проведено сравнение возможностей метода классической оптической микроскопии и метода цифровой голографической микроскопии для исследования тонких прозрачных пленок. Полученные результаты подтвердили эффективность применения ЦГИМ для подобных исследований.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Электронные спектры поглощения комплексов органических соединений с вырожденными по энергии молекулярными орбиталями
- Определение эффективного излучающего объема в эмиссионной спектроскопии протяженной среды
- Титан-сапфировый лазер, накачиваемый излучением второй гармоники неодимового лазера с продольной диодной накачкой
- Способ измерения деформаций волнового фронта до λ/8, вносимых афокальной системой большой апертуры
- Оптимальное оценивание положения центрированных в нуле гауссовских импульсных помех на изображениях
- Методика разработки математических моделей автоматических бортовых оптико-электронных систем
- Метрологические вопросы измерения температуры поверхностей бесконтактным методом ИК пирометрии
- Сравнительный анализ стабильности нерасстраиваемых сканеров
- Новые светорассеивающие ситаллы СОО-У6 и СОО-И8
- Коррекция спектральных характеристик отрезающих фильтров
- Критерий устойчивости спектральных характеристик многослойных интерференционных покрытий
- Исследование ориентационного порядка молекулярных цепей полистирола в поверхностных слоях тонких пленок методом наклонного поляризованного луча