Учебное издание
ЛАЗЕРНЫЕ МИКРО– И НАНОТЕХНОЛОГИИ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
СПбГУ ИТМО, 2011 год
Страниц141 c.
Тираж100 экз.
Скачать PDF13987 Кбайт
ЛАЗЕРНЫЕ МИКРО– И НАНОТЕХНОЛОГИИ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
Аннотация:
Для бакалавров и магистров направлений 200500 «Лазерная техника и лазерные технологии, 200200 «Оптотехника», 223200 «Техническая физика», 200700 «Фотоника и оптоинформати-ка», 200100 «Приборостроение», а также для студентов специ-альностей 200201 «Лазерная техника и лазерные технологии», 210401 «Физика и техника оптической связи». Курс также может быть полезен инженерам, ученым, менеджерам, которые инте-ресуются применением лазерных технологий в микроэлектро-нике, для понимания преимуществ и ограничений использова-ния лазеров в этой области, для расширения и углубления их знаний в области процессов лазерной обработки.