Приведен обзор различных методов оптического контроля при осаждении интерференционных покрытий, проведено их сравнение по критерию возможности компенсации ошибок толщин. Подробно рассмотрены одноволновый метод контроля по интерференционным экстремумам (Turning Point Method), одноволновый контроль по значению отражения (пропускания) (Level Method), одноволновый метод контроля по значению отражения (пропускания) с использованием диаграммы адмиттанса. Представлены результаты компьютерного моделирования вида спектральной кривой покрытий с введением ошибок в слои и использованием корректировки, обусловленной тем или иным применяемым оптическим методом контроля.