Фотометрический метод контроля толщины металлических слоев в процессе их формирования на подложке из кварца

Сборник тезисов

Конференция:IV Всероссийский конгресс молодых ученых

Раздел:Фотоника, наноматериалы и оптотехника

Рубрика:Оптотехника и оптические материалы

Год:2015

Фотометрический метод контроля толщины металлических слоев в процессе их формирования на подложке из кварца

Нгуен Ван Ба

Губанова Людмила Александровна

УДК:681.7.026.6

Скачать PDF

Аннотация

Рассмотрен процесс формирования серебряного, алюминиевого и титанового слоев на подложке из кварца и показана возможность повышения точности контроля толщины этих слоев фотометрическим методом контроля на двух длинах волн.

Фотометрический метод контроля толщины металлических слоев в процессе их формирования на подложке из кварца

Фотометрический метод контроля толщины металлических слоев в процессе их формирования на подложке из кварца

Аннотация

Постоянный URL

Материалы конференций

Фотометрический метод контроля толщины металлических слоев в процессе их формирования на подложке из кварца

Фотометрический метод контроля толщины металлических слоев в процессе их формирования на подложке из кварца

Аннотация

Постоянный URL

Поделиться

Материалы конференций