Сборник тезисов
Конференция:IV Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Фотоника, наноматериалы и оптотехника
Рубрика:Оптико-электронное приборостроение
Год:2015
Влияние поляризационной чувствительности матричного приемника оптического излучения на результаты эллипсометрических измерений
УДК:535.518