Например, Бобцов

Рекомбинационные процессы при многоимпульсном фемтосекундном облучении кремния

Сборник тезисов
Конференция:IV Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Инженерные системы и приборостроение
Рубрика:Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Год:2015

Рекомбинационные процессы при многоимпульсном фемтосекундном облучении кремния

УДК:621.373.535

Аннотация

Представлены к обсуждению результаты численного моделирования многоимпульсного фемтосекундного облучения кремния в режимах образования поверхностных периодических структур. Исследовано влияние рекомбинационных процессов, в том числе Оже-рекомбинации и безизлучательной рекомбинации на изменение температуры кремния между импульсами. Проведено сравнение вклада рекомбинационных процессов с вкладом эффектов накопления тепла в изменение максимальной температуры нагрева поверхности кремния.

Материалы конференций