<p>Применение систем с синтезированными голограммами-проекторами<br /> «сфокусированного» изображения является перспективным направлением развития<br /> традиционной проекционной фотолитографии, так как позволяет восстанавливать<br /> теоретически безаберационное изображение исходного объекта, при относительно большом<br /> поле экспонирования, с минимальным характеристическим размером элемента равным длине<br /> волны, т.е. на дифракционном пределе. Кроме того в таких системах вместо традиционных<br /> сложных и дорогих проекционных объективов могут применяться простые и недорогие<br /> оптические системы, строящие изображение низкого качества.<br /> Обозначенные выше достоинства, а также отсутствие успешных попыток синтеза таких<br /> голограмм-проекторов, обуславливают постановку данной работы, целью которой была<br /> разработка метода синтеза голограмм-проекторов «сфокусированного» изображения для<br /> проекционной фотолитографии. Одной из важных задач, которые необходимо решить для<br /> достижения данной цели была разработка метода расчета комплексной амплитуды объектной<br /> волны в плоскости голограммы.</p>