Сборник тезисов
Конференция:V Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Инженерные системы и приборостроение
Рубрика:Лазерная техника и лазерные технологии
Год:2016
Динамическое и статическое моделирование короткоживущей слоистой структуры приповерхностного слоя фемтооблученного кремния
УДК:621.373.535