Представлены результаты работ по созданию алгоритма для анализа полей сканирования при определении порогов лазерно-индуцированного пробоя на поверхности и в объеме прозрачных диэлектриков. Алгоритм разрабатывается для лазерного комплекса ИЛС-2, который точно обеспечивает воспроизводимость пространственных и энергетических параметров излучения от импульса к импульсу, вне зависимости от интервала необходимого для перехода сканера к следующей облучаемой точке в образце. С помощью программы написанной на базе разработанного алгоритма был обработан ряд изображений образцов и получены зависимости порога пробоя от плотности мощности лазерного излучения. Созданная программа, позволяет ускорить обработку изображений полей сканирования, полученных при измерении порогов лазерного разрушения оптических материалов и поверхностей.