Например, Бобцов

Модернизация и компьютеризация микроинтерферометра Линника для измерения толщины тонких пленок с повышенной точностью

Сборник тезисов
Конференция:V Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Фотоника, наноматериалы и оптотехника
Рубрика:Оптотехника и оптические материалы
Год:2016

Модернизация и компьютеризация микроинтерферометра Линника для измерения толщины тонких пленок с повышенной точностью

УДК:531.715.1

Аннотация

Выполнены модернизация и компьютеризация микроинтерферометра Линника, а также исследование методов повышения точности расшифровки интерферограмм. Определены методы и средства повышения точности измерений.

Материалы конференций