Например, Бобцов

Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках

Сборник тезисов
Конференция:V Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Инженерные системы и приборостроение
Рубрика:Сенсоры и сенсорные сети
Год:2016

Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках

Захлебаева Анна Игоревна, Реутская Ольга Геннадьевна
Горох Геннадий Георгиевич
УДК:621.317.39.084.2
Скачать PDF

Аннотация

Разработана технология формирования газового сенсора и двухсенсорной газовой микросистемы на диэлектрической подложке из анодного оксида алюминия. Исследованы отклики изготовленной микросистемы к газам CO, C3H8 и NO2. Полученные результаты подтвердили высокую эффективность работоспособности и возможность снижения энергопотребления полупроводниковых сенсоров и сенсорных микросистем.

Постоянный URL

Материалы конференций

Содержание © 1993–2024 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Университет ИТМО