Например, Бобцов

СИСТЕМА АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ СКАНЕРА В СОСТАВЕ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА

Сборник тезисов
Конференция:II Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2
Рубрика:ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
Год:2013

СИСТЕМА АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ СКАНЕРА В СОСТАВЕ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА

Михайлов Михаил Алексеевич
Манойлов Владимир Владимирович
УДК:681.2-5
Скачать PDF

Аннотация

<p>Для того чтобы удовлетворять растущие потребности в проведении экспериментов в<br /> нанотехнологиях, необходимо в первую очередь развивать основной инструмент в<br /> нанотехнологиях &ndash; сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ). Одной из неотъемлемой<br /> составной частей является сканер, который представляет из себя три пьезокерамических<br /> движителей, позволяющие с высокой точностью перемещать по трем координатам образец,<br /> закрепленный на нем. Пьезокерамика обладает большим количеством нелинейностей,<br /> влияющих на точность перемещений, таких как крип, гистерезис, тепловые расширения,<br /> краевые эффекты.</p>

Постоянный URL

Материалы конференций

Содержание © 1993–2024 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Университет ИТМО