Например, Бобцов

Микроструктурирование тонких металлических пленок в схеме многолучевой интерференции лазерных пучков

Сборник тезисов
Конференция:V Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Инженерные системы и приборостроение
Рубрика:Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Год:2016

Микроструктурирование тонких металлических пленок в схеме многолучевой интерференции лазерных пучков

УДК:544.537:535.417:53.06

Аннотация

В работе представлена обработка тонких металлических пленок в схеме многолучевой интерференции лазерных пучков с использованием дифракционных оптических элементов, изготовленных по технологии лазерно-индуцированной обработки микроплазмой.

Материалы конференций