Например, Бобцов

Сравнительный вклад рекомбинационных процессов в накопительный лазерный нагрев при многоимпульсной фемтосекундной обработке кремния

Сборник тезисов
Конференция:V Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Инженерные системы и приборостроение
Рубрика:Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Год:2016

Сравнительный вклад рекомбинационных процессов в накопительный лазерный нагрев при многоимпульсной фемтосекундной обработке кремния

УДК:621.373.535

Аннотация

Представлены результаты качественных оценок влияния рекомбинационных процессов на накопительный нагрев поверхности кремния при воздействии фемтосекундными лазерными импульсами в режимах микроструктурирования поверхности. Показано взаимовлияние рекомбинационных процессов обоих типов.

Материалы конференций