Например, Бобцов

Локальное лазерное окисление тонких металлических пленок, образующих прозрачные оксиды, в многоимпульсном режиме

Сборник тезисов
Конференция:V Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Инженерные системы и приборостроение
Рубрика:Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Год:2016

Локальное лазерное окисление тонких металлических пленок, образующих прозрачные оксиды, в многоимпульсном режиме

УДК:544.032.65, 544.537

Аннотация

В настоящей работе теоретически и экспериментально исследовано локальное лазерное окисление тонких пленок титана, образующих прозрачные оксиды. Рассмотрена температурная динамика пленки, облучаемой лазером в импульсно-частотном режиме.

Материалы конференций