Сборник тезисов

Конференция:V Всероссийский конгресс молодых ученых

Раздел:Инженерные системы и приборостроение

Рубрика:Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий

Год:2016

Исследование радиального распределения толщины слоя оксида при лазерном окислении тонких пленок титана в субмикронном диапазоне размеров

Нгуен Куанг Зунг, Синев Дмитрий Андреевич

Шахно Елена Аркадьевна

УДК:544.032.65, 544.537

Скачать PDF

Аннотация

В работе приведен теоретический расчет радиального распределения толщины слоя оксида и температуры пленки в процессе воздействия лазерного излучения. При решении задачи использованы известные особенности лазерного нагревания тонких пленок титана с образованием прозрачного оксида при субмикронных размерах облученной области: квазистационарный режим нагревания и преобладающее влияние теплоотвода в подложку над радиальным теплоотводом в пленке на формирование температурного поля пленки. Получены зависимости размера получаемого изображения в пленке от размера облученной области и основных параметров режима воздействия.

Исследование радиального распределения толщины слоя оксида при лазерном окислении тонких пленок титана в субмикронном диапазоне размеров

Исследование радиального распределения толщины слоя оксида при лазерном окислении тонких пленок титана в субмикронном диапазоне размеров

Аннотация

Постоянный URL

Материалы конференций

Исследование радиального распределения толщины слоя оксида при лазерном окислении тонких пленок титана в субмикронном диапазоне размеров

Исследование радиального распределения толщины слоя оксида при лазерном окислении тонких пленок титана в субмикронном диапазоне размеров

Аннотация

Постоянный URL

Поделиться

Материалы конференций