Сборник тезисов
Конференция:V Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Информационные и интеллектуальные системы и технологии
Рубрика:Информационная безопасность, проектирование, технология элементов и узлов компьютерных систем
Год:2016
Исследование вольт-фарадных характеристик структур Si/SiO2 с имплантированным кремнием в окисле
УДК:539.534.9