<p>Объектом исследования были микрорезонаторы (МР), состоящие из сферических<br /> частиц аморфного диоксида кремния диаметром 2,0 и 3,5 мкм, покрытых люминесцирующей<br /> оболочкой аморфного гидрогенизированного карбида кремния (a-Si:C:H) толщиной 60 нм.<br /> Приготовление МР из аморфного диоксида с оболочкой a-Si:C:H является перспективным<br /> для разработки и создания чувствительных оптических биосенсоров и других<br /> биомедицинских приложений. Данные возможности реализуются за счет использования<br /> аморфного гидрогенизированного карбида кремния (a-Si:C:H), обладающего большой<br /> шириной запрещенной зоны и люминесценцией при комнатной температуре. Используя при<br /> изготовлении пленок метод плазмохимического газофазного осаждения (ПХГФО) возможно<br /> контролировать оптические свойства и положение максимума линии фотолюминесценции a-<br /> Si:C:H в спектральной области 600–900 нм.</p>