Например, Бобцов

Основные требования к материалам для акустоэлектронных устройств, построенных на тонкоплёночных пьезоэлектрических преобразователях

Сборник тезисов
Конференция:V Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Информационные и интеллектуальные системы и технологии
Рубрика:Информационная безопасность, проектирование, технология элементов и узлов компьютерных систем
Год:2016

Основные требования к материалам для акустоэлектронных устройств, построенных на тонкоплёночных пьезоэлектрических преобразователях

УДК:534.8.081.7

Аннотация

Рассмотрены основные требования к материалам изготовления тонкопленочных пьезоэлектрических преобразователей для устройств работающих на объемных акустических волнах. Исследовано влияние ключевых параметров, а именно величины скорости распространения волны в объеме пленки и коэффициента электромеханической связи различных модификаций тонкопленочных пьезоэлектриков на выходные характеристики акустоэлектронных компонентов. Проведен анализ методик синтеза пьезо-пленок и выявлены факторы, влияющие на показатели конечных устройств.

Материалы конференций