Например, Бобцов

Методы формирования нанокомпозитов на основе Sinc-SiO2-Simonocr

Сборник тезисов
Конференция:V Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Информационные и интеллектуальные системы и технологии
Рубрика:Информационная безопасность, проектирование, технология элементов и узлов компьютерных систем
Год:2016

Методы формирования нанокомпозитов на основе Sinc-SiO2-Simonocr

Тампер Антон Микаэль
Скворцов Альберт Матвеевич
УДК:621.315.592
Скачать PDF

Аннотация

Нанокомпозитные материалы на основе системы SiO2/Si с включенными в нее нанокристаллами кремния могут использоваться при производстве большого количества микро- и наноэлектронных изделий. В работе рассмотрены методы формирования таких материалов, их преимущества и недостатки. Также упомянуты перспективы их дальнейшего развития. Отмечен относительно новый метод формирования нанокомпозитов кремния с нанокристаллами кремния с использованием лазерной абляции на воздухе.

Постоянный URL

Материалы конференций

Содержание © 1993–2024 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Университет ИТМО