Влияние методов и условий обработки монокристаллов кремния на реконструкцию поверхности

Сборник тезисов

Конференция:VI Всероссийский конгресс молодых ученых

Раздел:Информационные и интеллектуальные системы и технологии

Рубрика:Информационная безопасность, проектирование, технология элементов и узлов компьютерных систем

Год:2016

Влияние методов и условий обработки монокристаллов кремния на реконструкцию поверхности

Дубынина Ирина Вадимовна, Тампер Антон Микаэль

Скворцов Альберт Матвеевич

УДК:621.315.592

Скачать PDF

Аннотация

В результате исследования определены наиболее характерные виды реконструкций поверхности в зависимости от ориентации монокристаллов кремния. Для атомарно чистой поверхности Si (111) характерны две основных реконструкции – (2x1) и (7x7). При определенных условиях можно получить и другие реконструкции поверхности. Структура типа (2x1) образуется сразу после скола Si (111) в вакууме при комнатной температуре. Структура (2x1) является метастабильной и необратимо переходит в устойчивую структуру (7х7) при отжиге 470–660 К. Реконструкция типа (2x1) характерна также и для поверхности Si (100).

Влияние методов и условий обработки монокристаллов кремния на реконструкцию поверхности

Влияние методов и условий обработки монокристаллов кремния на реконструкцию поверхности

Аннотация

Постоянный URL

Материалы конференций

Влияние методов и условий обработки монокристаллов кремния на реконструкцию поверхности

Влияние методов и условий обработки монокристаллов кремния на реконструкцию поверхности

Аннотация

Постоянный URL

Поделиться

Материалы конференций