Определение оптимальных рабочих режимов фемтосекундного лазера для микроструктурирования системы SiO2/Si

Сборник тезисов

Конференция:VI Всероссийский конгресс молодых ученых

Раздел:Информационные и интеллектуальные системы и технологии

Рубрика:Информационная безопасность, проектирование, технология элементов и узлов компьютерных систем

Год:2016

Определение оптимальных рабочих режимов фемтосекундного лазера для микроструктурирования системы SiO2/Si

Большаков Владимир Олегович, Тампер Антон Микаэль

Скворцов Альберт Матвеевич

УДК:621.315.592

Скачать PDF

Аннотация

В результате исследования определены предельные режимы, при которых наблюдается видимое разрушение системы с точки зрения абляции кремния на поверхности окисленной кремниевой пластины. Также определены зависимости между характером получаемых микроструктур и толщиной слоя диоксида кремния исследуемых образцов.

Определение оптимальных рабочих режимов фемтосекундного лазера для микроструктурирования системы SiO2/Si

Определение оптимальных рабочих режимов фемтосекундного лазера для микроструктурирования системы SiO2/Si

Аннотация

Постоянный URL

Материалы конференций

Определение оптимальных рабочих режимов фемтосекундного лазера для микроструктурирования системы SiO2/Si

Определение оптимальных рабочих режимов фемтосекундного лазера для микроструктурирования системы SiO2/Si

Аннотация

Постоянный URL

Поделиться

Материалы конференций