Например, Бобцов

Исследование влияния состава электролита и исходного кремния на морфологию и оптические свойства химически осажденных пленок серебра

Сборник тезисов
Конференция:VI Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Информационные и интеллектуальные системы и технологии
Рубрика:Информационная безопасность, проектирование, технология элементов и узлов компьютерных систем
Год:2016

Исследование влияния состава электролита и исходного кремния на морфологию и оптические свойства химически осажденных пленок серебра

УДК:621.315.592

Аннотация

Работа посвящена исследованиям технологических условий начальной стадии метода металл-стимулированного химического травления кремния: осаждения несплошной пленки серебра из электролита. Основное содержание исследования составляет сравнительная характеристика оптических свойств и морфологии осажденных пленок серебра в зависимости от исходных характеристик пластин кремния и концентрации применяемого электролита осаждения. В итоге констатируется, что различные по морфологии пленки серебра, получаемые на подложках с разной степенью легирования, могут иметь схожие оптические характеристики. Дальнейшее исследование позволит получать структурированные кремниевые нанонити с заранее известной топологией безмасочным методом.

Материалы конференций