<p>Для задач криминалистики, оптимизации технологического процесса производства <br /> бумаги, исследования и реставрации предметов искусства и других приложений требуются <br /> бесконтактные высокоразрешающие методы контроля поверхностей исследуемых объектов. <br /> Традиционно для подобных исследований применяются интерференционные <br /> методы [1] как наиболее точные из оптических. Однако в микроинтерферометрах [2] <br /> используются высокоапертурные объективы с малым полем зрения (порядка 200×200 мкм). <br /> Исследуемые микронеровности имеют площади порядка 1 мм<br /> 2<br /> , в результате чего возникает <br /> задача сканирования многих участков с последующей сшивкой результатов. </p> <p> </p>