Например, Бобцов

Разработка и исследование термохимических микросенсоров с применением МЭМС для газовой хроматографии

Сборник тезисов
Конференция:VI Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Фотоника, наноматериалы и оптотехника
Рубрика:Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии
Год:2016

Разработка и исследование термохимических микросенсоров с применением МЭМС для газовой хроматографии

УДК:54.07

Аннотация

В работе представлен процесс разработки газовых микросенсоров с помощью магнетронного напыления нанослоев хрома и меди на стеклянную подложку, с последующим формированием резистивного элемента методом УФ-литографии и жидкостного травления. Определены зависимости сопротивления чувствительного элемента от толщины наносимых нанослоев хрома и от температуры отжига в кислородной атмосфере. Также разработана технология формирования каталитического слоя платины на поверхности планарного резистора. Представлены инерционность и чувствительность разработанного сенсора в сравнении с пламенно-ионизационным детектором и детектором по теплопроводности для газовой хроматографии.

Материалы конференций