Например, Бобцов

Разработка методов создания массивов наночастиц кремния и комплементарных к ним пористых наноструктур

Сборник тезисов
Конференция:VI Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Фотоника, наноматериалы и оптотехника
Рубрика:Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии
Год:2016

Разработка методов создания массивов наночастиц кремния и комплементарных к ним пористых наноструктур

УДК:535.3

Аннотация

В работе предложен способ создания кремниевых наноструктур путем комбинации методов высоковакуумного напыления и металл-стимулированного химического травления.

Материалы конференций