Например, Бобцов

Экспериментальное определение эллипсометрических параметров матричного приёмника оптического излучения

Сборник тезисов
Конференция:VI Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Фотоника, наноматериалы и оптотехника
Рубрика:Оптико-электронное приборостроение
Год:2016

Экспериментальное определение эллипсометрических параметров матричного приёмника оптического излучения

УДК:535.513

Аннотация

Работа посвящена эллипсометрическому исследованию прозрачной структуры матричного приёмника оптического излучения, определению эллипсометрических параметров этого приёмника для решения обратной задачи эллипсометрии и получения оптических и геометрических параметров прозрачных слоёв чувствительного сенсора матрицы приёмника.

Материалы конференций