Например, Бобцов

Анализ результатов патентного поиска в области оптико-электронных приборов для эллипсометрических измерений

Сборник тезисов
Конференция:VI Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Фотоника, наноматериалы и оптотехника
Рубрика:Оптико-электронное приборостроение
Год:2016

Анализ результатов патентного поиска в области оптико-электронных приборов для эллипсометрических измерений

УДК:535.513

Аннотация

Целью работы является проведение патентного поиска и отбор патентных документов для выявления существующего уровня техники в области оптико-электронных приборов для эллипсометрических измерений с помощью классических эллипсометрических схем, а также схем видеоинформационных приборов, обеспечивающих измерение параметров Стокса для обоснования предложений о необходимости создания прототипа универсального прибора, реализующего измерения в рамках двух схем: нулевой и ненулевой, на основе единого источника когерентного излучения.

Материалы конференций