Сборник тезисов
Конференция:VI Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Фотоника, наноматериалы и оптотехника
Рубрика:Оптико-электронное приборостроение
Год:2016
Анализ результатов патентного поиска в области оптико-электронных приборов для эллипсометрических измерений
УДК:535.513