Сборник тезисов
Конференция:VI Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Инженерные системы и приборостроение
Рубрика:Проблемы механики и точности в приборостроении
Год:2016
Исследование процессов вакуумного напыления и лазерного окисления тонкопленочных ниобиевых покрытий
УДК:544.032.65, 537.9