Например, Бобцов

БЕСКОНТАКТНЫЕ МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ КАЧЕСТВА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ НА МИКРО- И НАНОУРОВНЯХ

Сборник тезисов
Конференция:II Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2
Рубрика:ПРОБЛЕМЫ МЕХАНИКИ И ТОЧНОСТИ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ
Год:2013

БЕСКОНТАКТНЫЕ МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ КАЧЕСТВА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ НА МИКРО- И НАНОУРОВНЯХ

УДК:681.2.083

Аннотация

<p>Контактное измерение является на сегодняшний день самым распространенным<br /> способом оценки меры шероховатости поверхности на микро- и наноуровне. При этом<br /> отрицательной стороной данного метода является повреждение и деформация измеряемой<br /> поверхности после прохода по ней иглы профилометра. В связи с этим, перспективным<br /> методом оценки являются бесконтактные методы.</p>

Материалы конференций