Сборник тезисов
Конференция:VI Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Инженерные системы и приборостроение
Рубрика:Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Год:2016
Исследование влияния абляции ультракороткими лазерными импульсами на результирующий фазовый состав кремниевых подложек
УДК:621.373.826