Исследование влияния абляции ультракороткими лазерными импульсами на результирующий фазовый состав кремниевых подложек

Сборник тезисов

Конференция:VI Всероссийский конгресс молодых ученых

Раздел:Инженерные системы и приборостроение

Рубрика:Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий

Год:2016

Исследование влияния абляции ультракороткими лазерными импульсами на результирующий фазовый состав кремниевых подложек

Петренко Артем Александрович

Агеев Эдуард Игоревич

УДК:621.373.826

Скачать PDF

Аннотация

В работе выполнено исследование эволюции топографии поверхности кремниевых образцов, подвергнутых фемтосекундной лазерной абляции, а также изменения кристаллической структуры приповерхностных слоёв. Исследована природа переходных абляционных и релаксационных процессов, происходящих в приповерхностных слоях кремниевых подложек при многоимпульсном фемтосекундном воздействии.

Исследование влияния абляции ультракороткими лазерными импульсами на результирующий фазовый состав кремниевых подложек

Исследование влияния абляции ультракороткими лазерными импульсами на результирующий фазовый состав кремниевых подложек

Аннотация

Постоянный URL

Материалы конференций

Исследование влияния абляции ультракороткими лазерными импульсами на результирующий фазовый состав кремниевых подложек

Исследование влияния абляции ультракороткими лазерными импульсами на результирующий фазовый состав кремниевых подложек

Аннотация

Постоянный URL

Поделиться

Материалы конференций