Сборник тезисов
Конференция:VI Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Инженерные системы и приборостроение
Рубрика:Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Год:2016
Особенности формирования антиотражающего микрорельефа на поверхности монокристаллического кремния при воздействии импульсно-периодического излучения волоконного иттербиевого лазера
УДК:535.016