Например, Бобцов

Исследование кинетики роста оксидного слоя тонких металлических пленок под воздействием лазерного излучения методом конечных разностей

Сборник тезисов
Конференция:VI Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Инженерные системы и приборостроение
Рубрика:Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Год:2016

Исследование кинетики роста оксидного слоя тонких металлических пленок под воздействием лазерного излучения методом конечных разностей

УДК:544.032.65, 544.537

Аннотация

В работе выполнен теоретический расчет методом конечных разностей температуры металлической пленки и толщины слоя оксида, образующегося под действием лазерного излучения. Для описания процесса окисления тонких пленок построена физико-математическая модель процесса, учитывающая нелинейность зависимости толщины образующегося слоя оксида от температуры пленки и отрицательную обратную термохимическую связь между плотностью мощности излучения на поверхности и поглощательной способностью пленки. Получены зависимости толщины слоя оксида от плотности мощности лазерного излучения, а также исследовано пространственное распределение температуры пленки.

Материалы конференций